بهره وری انرژی در بخش صنعت که به معنای استفاده از مقدار انرژی کمتر برای تولید مشخصی کالا یا خدمت می باشد، همواره مورد توجه سیاست گذاران و دولت هاست. در این پژوهش با استفاده از روش تحلیل پوششی داده ها و تابع مسافت خروجی به تجزیه و تحلیل تغییر بهره وری انرژی به چهار جزئ : تغییر کارآیی فنی ، تغییر کارآیی تکنولوژیکی ، تغییر موجودی سرمایه به انرژی و تغییر نیروی کار به انرژی در بخش صنعت کشور ایران طی دوره 1383-1393 پرداخته است. سپس نتایج SFA نشان می دهد بطور متوسط طی دوره بررسی صنعت تولید ماشین آلات اداری(ISIC30) دارای بیشترین بهره وری انرژی کل عوامل تولید به میزان 0/924 و صنایع تولید زغال کک (ISIC23) دارای کمترین بهره وری انرژی کل عوامل به میزان 0/002 بوده اند.