دستگاه اندازهگیری مختصات (CMM)، یکی از وسایل اندازهگیری جهت مهندسی معکوس بوده که نیازمند شرایط محیطی و دمایی ثابت است. تغییر این شرایط به دلیل نیاز صنعت به ورود این دستگاهها به محیط کارگاهی اجتناب ناپذیر بوده و تغییرات دمایی به سازه دستگاه اعمال میشود. این تغییرات منجر به تغییر شکل و اعوجاج غیریکنواخت سازه و نیز خطکشهای کدی دستگاه میشود که نتایج اندازهگیری را تحت تأثیر قرار میدهد. در این تحقیق به منظور بررسی اثر تغییر شرایط محیطی بر روی دستگاه CMM و بررسی خطاهای ناشی از آن، مدل سهبعدی دستگاه CMM در نرم افزار اجزا محدود ANSYS طراحی شده و با اعمال اختلاف دمای محیط با دمای سازه، تحلیل حرارتی ناپایای دستگاه انجام شده است. تغییر شکل کلی سازه و خطکشها به دست آمده است. به منظور اعتبارسنجی، نتایج به دست آمده از میزان جابه جایی خطکشها و ساختمان سازه با روابط تحلیلی موجود مقایسه شدهاند که تطابق بسیار قابل قبولی مشاهده میشود. همچنین تحلیل تغییرشکلها و اعوجاج کلی سازه منتج به نتایجی در خصوص بهبود طراحی و مواد به کار رفته در سازه شده است.